عنوان المقالة:تاثير الشكل الهندسي للاقطاب للعدسات المغناطيسية الشيئية اللامتناظرةعلى الخواص البصرية في المجهر الماسح SEM The effect of the geometric shape of the electrodes of the non-symmetrical magnetic lenses on the optical properties in the scanning electron microscope SEM
Nedhal Sadie Abd Hujazie, Mohammed Abdullah Hussain
الملخص العربي
تم في هذا البحث ، الحصول على تصميم كفوء لعدسة مغناطيسية أحادية القطب لامتناظرة تستخدم كعدسة شيئية في منظومة الإضاءة للمجهر الماسح ، تمتلك خصائص بصرية جيدة متمثلة ببعد بؤري قصير ومسافة تشغيل قليلة وزيوغ كروية ولونية واطئة ، فضلا عن قطر دقيق للحزمة الالكترونية الساقطة على النموذج . وتم ذلك باختيار أربعة نماذج من العدسات المغناطيسية المتباينة في التصميم من حيث الشكل الهندسي للقطب والدائرة الحديدية ، والمتساوية في مساحة الملف . وتم إيجاد خواصها البصرية عند تهيجات وفو لطيات تشغيل مختلفة باستخدام برامج تعتمد على طريقة العناصر المتناهية ، ليتسنى لنا معرفة واختيار العدسة الأفضل . وجد إن الشكل الهندسي للقطب والدائرة الحديدية يلعبان دورا هاما في تحديد الخواص الجيدة للعدسة وتم اختيار النموذج OL1 الذي حقق أفضل النتائج بالمقارنة مع بقية العدسات.
الملخص الانجليزي
In this research , an efficient design of an asymmetric single pole magnetic lens used as an objective lens in illumination system for the SEM . possess good optical properties represented by short focal length , small working distance and low spherical and chromatic aberrations , as well as a fine electron beam diameter incident on the surface of the sample . It has been selected four models of magnetic lenses having different design of the pole shape and the magnetic circuit, but having the same areas of the coil . has been finding optical properties by using program depend on the (FEM) at different excitations and beam voltage . In order to knows and choose the best lens. It is found that the geometric pole shape and the magnetic circuit plays an important role in determining the good properties of the lens . We choose OL1 lens which, achieved the best results compared with the rest of the lenses .
تاريخ النشر
01/12/2017
الناشر
مجلة الدراسات التربوية والعلمية /الجامعة العراقية / كلية التربية
نضال سعدي عبد حجازي | Nedhal Sadie Abd Hujazie | 10298