عنوان المقالة: اشتركت في المؤتمر الدولي الاول الذي اقيم في كلية العلوم جامعة تكريت Proceeding of First International and the Third Scientific Conference , College of Science - University of Tikrit
إن احتواء بلازما الأكسجين على العديد من التطبيقات المهمة في صناعة أشباه الموصلات عند إضافة كمية صغيرة من الأكسجين ، يمكن أن يختلف اختلافًا كبيرًا في خصائص البلازما. في هذا العمل ، يتم قياس خصائص خصائص الجهد الحالي وإمكانية الفشل في نسب مختلفة من O2 في تكوين الغاز (Ar / O2). أظهرت النتائج أن إضافة الأكسجين يؤدي إلى انخفاض تيار التفريغ عند نفس جهد التفريغ وضغط الغاز. على العكس من ذلك ، احتمال الفشل المنخفض في نسبة أقل من O2 من الحد الأدنى لجهد الفشل (600 ، 650 ، 730 ، 750 ، 760 ، 780) و (5٪ ، 10٪ ، 15٪ ، 20٪ ، 30٪ ، 50٪ ) من نسبة O2 ، على التوالي. أظهر الكشف عن البلازما باستخدام التحليل الطيفي البصري أن مجموعتين مختلفتين من الإلكترونات في البلازما تتميزان بدرجات حرارة وكثافات مختلفة ، وبالتالي زيادة درجة حرارة الإلكترون بإضافة O2. بينما تنخفض كثافة الإلكترونات مع زيادة نسبة O2.
الملخص الانجليزي
Containing oxygen plasma for many important applications in the semiconductor industry when adding a small amount of oxygen, can vary significantly properties of the plasma. In this work, the characteristics of the current-voltage characteristics and the failure potential in different percentages of O2 in the gas composition (Ar / O2) are measured. The result showed that the addition of oxygen leads to a decrease in the discharge current at the same discharge voltage and gas pressure. On the contrary, the low failure potential in percent less than O2 of the minimum failure voltage (600, 650, 730, 750, 760, 780) and (5%, 10%, 15%, 20%, 30%, 50%) of O2 percentage, respectively. Plasma detection using optical spectroscopy showed that two different plasma electron groups are characterized by different temperatures and densities, so increasing the electron temperature by adding O2. While the electron density decreases with increase in the O2 ratio.
تاريخ النشر
15/12/2018
الناشر
Journal of the College of Education for Pure Sciences
محمد شريف محمد | Mohammed Shareef Mohammed | 3068